반도체 제조 AI 시리즈 #1 : Nature 지에 공개된 공정 최적화 단축 전략(Human First, Computer Last)
반도체 산업의 경쟁력은 어디서 나올까? 동일한 생산 능력을 가진 팹이라고 한다면, 한 장의 웨이퍼에 들어가는 입력(원재료, 공정, 인력) 대비 출력(양품 칩 갯수)으로 간단한 지표를 잡을 수 있다. 특히, 반도체 제조 원가에서 공정에 들어가는 비용이 상당하다. 웨이퍼 한 장을 생산하기 위해서는 보통 수백개의 공정 스텝을 거치게 된다. 각 스텝마다 사용되는 고유의 장비가 있고, 여러 조건(parameter)들의 조합을 실험해 보고 최적화 하는 과정을 거친다. 에칭 공정을 예로 들면, 플라즈마 상태의 기체를 생성하는데, 반응 Gas 기압, air flow, 펄스 전압의 전력, 웨이퍼 온도 등 parameter 들의 조합(recipe)을 입력하여 원하는 모양의 회로가 만들어 지는지 확인한다. 이런 종류의 실험..
